三維輪廓儀探針接觸式輪廓儀  
4D:3D測(cè)量時(shí)序圖  
3D成像抓取速度可達(dá)190幀/秒(高可選1000幀/秒)  
時(shí)間分辨率可達(dá)100微秒(zui快10微秒可選)  
動(dòng)態(tài)垂直測(cè)量范圍可達(dá)200微米  
探針接觸式輪廓儀  
Smart-surface:UVsensitivepolymer  
3D形貌測(cè)量提供干涉測(cè)量級(jí)的亞納米分辨率  
任何物鏡倍率下均保證亞納米垂直分辨率  
多種可選物鏡，包括長工作距物鏡、玻璃矯正物鏡、水鏡、油鏡等  
多環(huán)境下測(cè)量，包括真空、氣氛、液體、透過光學(xué)窗口、溫度濕度可控環(huán)境等  
表征樣品動(dòng)態(tài)響應(yīng)  
熱動(dòng)力學(xué)參數(shù)響應(yīng)(壓強(qiáng)、溫度等)  
氣氛、液體環(huán)境響應(yīng)(例如沉積、腐蝕等)  
機(jī)械力或電磁力響應(yīng)  
光輻射響應(yīng)  

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https://www.chem17.com/st111456/erlist_2286611.html